导语：气密检测是一项重要的质量检测工作，能够确保产品在生产和使用过程中的稳定性和可靠性。深圳作为中国科技创新中心，拥有众多高效、准确的气密检测设备。本文将为您介绍深圳常用的气密检测设备。
一、激光气密检测设备
1. 激光共焦扫描显微镜：搭载激光光源和共焦技术，能够通过扫描样品进行三维显微观察，检测器件的气密性能。
2. 激光干涉仪：利用激光的干涉原理，对材料表面的扭曲和波纹进行快速识别，用于检测气密性能是否合格。
二、电子气密检测设备
1. SEM电子显微镜：通过电子束扫描样品表面，观察较小的细节和微小结构，进行气密性能的检测。
2. 多通道田野发射扫描电子显微镜：利用多通道扫描电子束和恒电池电位，对材料表面的细微缺陷进行快速检测，并判断其气密性能。
三、气体检测仪器及设备
1. 气体质谱仪：利用质谱分析原理，检测并分析样品中的气体成分，用于气密性能的检测。
2. 热气体探测器：根据热敏等效原理，检测样品表面可能存在的微小孔隙，从而判断气密性能的好坏。
测试仪器
