HM-230多压力残余气体分析仪
- 宽压适配
- 覆盖1E-8Torr~1.2atm全压力范围，提供1-100/200/300amu三种质量数选择，实时精准监测H₂、He、N₂、O₂、Ar等关键气体成分
- 在线分析
- 毫秒级响应速度，实时追踪工艺气体组分变化，一旦发现异常波动立即报警
- 一体集成
- 将RGA、真空系统、进样模块高度集成，无需额外搭建复杂真空系统，即接即测快速落地
- 抗污设计
- 采用抗污染涂层+表面钝化工艺，有效减少工艺沉积物对核心部件的污染，延长设备使用寿命
深圳市宝安区松岗松白路7004号汉海达科技园B栋
广东省东莞市常平镇环常南路9号时代智汇产业园5栋海瑞思测控
