HM-150高压力残余气体分析仪
- 高压兼容
- 支持最高2Pa工作压强，高效适配 PVD工艺监测
- 全谱扫描
- 1-50 amu 及 1-100 amu 双质量数范围，支持全谱扫描与特定质量数扫描，可精准分辨 H₂、He、N₂、O₂、Ar 等气体，实现快速定性定量分析
- 极致灵敏
- 最低 2E-9 Pa 的分压检测限，精准锁定污染源
- 智控预警
- 支持API集成与自动监测报警功能，赋能数字化产线
深圳市宝安区松岗松白路7004号汉海达科技园B栋
广东省东莞市常平镇环常南路9号时代智汇产业园5栋海瑞思测控
驾护航。 
