在新能源、汽车零部件、液冷系统等精密制造领域，微小泄漏会直接影响产品寿命、性能与安全性。真空箱氦检是目前行业主流的高精度密封检测方式。

海瑞思真空箱氦检系统通过大小漏分级检测、本底自动抑零、智能闭环控制，实现稳定、高重复性的微漏检测，可满足各类精密工件的出厂气密检测标准。

双工位真空箱氦检系统

01 真空箱氦检测试原理         

真空箱氦检采用先粗检、后精检的分段检测逻辑，兼顾效率与精度。

1. 设备先对真空箱预抽真空，工件充氮气保压，完成大漏粗筛，快速剔除严重泄漏产品。

2. 大漏检测合格后，真空箱抽至设定真空度，对真空箱进行本底测试，本底合格后，向工件通入指定压力氦气。

3. 开启检漏阀，若工件存在泄漏，氦气进入真空箱，氦质谱检漏仪可精准捕捉泄漏信号，计算精准漏率。

4. 检测后氦气可按需排放或回收利用；微漏不合格时，系统自动氮气吹扫清腔，降低氦气残留，避免干扰下次测试。

⬆ 真空箱法检测原理

02  设备工作流程         

海瑞思整套检测流程全自动闭环运行，有效避免误检、重检，保障数据稳定可靠。

氮气保压检大漏

正式氦检前先筛查大漏缺陷，出现以下任意情况系统立即判定大漏、终止测试并报警：

• 工件保压压降超设定阈值

• 规定时间内工件无法充压达标

• 真空箱无法抽到设定真空度

系统自动完成排气、破真空、异常报警，大幅提升整体产线节拍效率。

氦本底自检清零

微漏测试前设备自动执行氦本底检测，消除腔体残留氦气、环境氦气干扰。若本底超标，自动氮气清扫，确保本次检测数据为工件真实漏率。

氦气微漏精准检测

检测氦信号超标：判定工件微漏，界面输出NG信号；

氦信号正常、漏率达标：判定产品合格，输出OK信号。

⬆ 真空箱氦检设备结构组成

03 海瑞思真空箱氦检系统核心功能      

针对氦检密封难、本底高、误判多、耗材高等行业痛点，设备搭载多项自研功能：

1. 大小漏分级检测：先粗后精，避免浪费高精度检测节拍；

2. 自动本底抑零：剔除环境干扰，真实还原工件整体漏率；

3. 氦气浓度自动补偿：实时监控压力、自动补氦，保证测试条件稳定；

4. 自动清腔除残：不良测试后氮气自动扫腔，降低腔体氦残留；

5. 全状态监控与异常报警：设备运行自诊断，故障可溯源；

6. 安全与数据追溯：配备安全光栅保障人机安全，支持产品扫码数据留存，便于批次追溯；

7. 自研双层管路结构：柔性装配、低本底、高检测一致性；

8. 专用密封接头设计：解决氦检密封不稳定难题，大幅降低系统误判；

9. 稳定检出性能：漏杀率0%、过杀率仅0.1%，检测稳定性优异。

02 设备参数与定制能力         

海瑞思支持单工位、多工位真空箱氦检设备定制，适配不同产线节拍与产品结构，广泛用于汽车零部件、新能源电芯/组件、液冷系统（管路、分水器、冷板、UQD接头、换热器）等精密密封测试场景。

核心性能参数

超高检测精度：最小可检漏率1×10-8Pa·m3/s

宽压力适配范围：微漏测试压力0–5MPa

高节能回收率：氦气回收率高达95%

支持按产线效率定制自动化节拍

 ⬆ 汽车压铸件双工位真空箱氦检设备

⬆ 液冷板双工位真空箱氦检设备

⬆ 液冷歧管真空箱氦检设备

05 从方案到运维的一站式服务       

海瑞思不止提供标准化氦检设备，更可根据行业产品特性量身定制整套密封检测方案：覆盖方案评估、结构适配、设备选型、程序定制、现场安装调试、售后运维全流程。

针对精密制造企业普遍存在的微漏难检、误判偏高、氦气成本高、产线不匹配等难题，海瑞思以高精度设备+定制化流程，让氦检精度、稳定性、节拍完全适配生产线，帮助企业降低综合运维成本。

若您产线存在密封检测难题，或需要匹配产品结构、产能节拍的真空箱氦检方案，欢迎咨询，我们全程提供专属选型与落地服务。