HM-130高性能残余气体分析仪-深圳市海瑞思自动化科技有限公司

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超高灵敏: 2E-15Torr最小可检分压，精准捕捉超低浓度气体杂质

瞬时响应: 2ms/点高速扫描，实时捕捉制程瞬态变化

宽幅探测: 覆盖1–300amu全量程，兼容多场景、多气体的定性定量分析

稳定可靠: 面向半导体与真空镀膜严苛环境设计，长期运行性能稳定，确保量产工艺高度一致

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产品概述

HM-130高性能残余气体分析仪，专为半导体及真空工艺量身打造，它以自研核心技术，为真空制程装上“数字慧眼”。

规格参数

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