还有一周，CIOE 2026 中国国际光电博览会将在深圳启幕。26 万㎡展会规模、超 4000 家参展企业，同期八大主题展覆盖信息通信、精密光学、激光智造、新型显示、AR & VR 等核心板块，是全球光电产业观察趋势、对接资源的核心窗口。

本届展会，海瑞思将以“一站式精密检测，护航真空镀膜工艺制程”为主题，携 HM 系列 RGA 残余气体分析仪及气密、氦检设备亮相，聚焦真空镀膜、光电制造与半导体场景，与行业同仁共探工艺质控与良率提升新路径。

01核心展品

HM-130高性能残余气体分析仪

最小可检分压 2E-15 Torr，2 ms/点高速扫描，1–300 amu 宽质量数范围，适用于高真空环境下的检漏、真空诊断与烃类分析。

HM-150高压力残余气体分析仪

最高工作压强 2 Pa，最低 2E-9 Pa 分压检测，3 ms/点响应，双灯丝设计，覆盖从高真空到 PVD 工艺的高灵敏度泄漏与污染检测。

HM-230多压力残余气体分析仪

1E-8 Torr ~ 1.2 atm 宽压覆盖，RGA + 真空系统 + 进样模块一体集成，适配 ALD、CVD、PVD 与刻蚀等严苛工艺。

HM-200在线质谱分析仪

高灵敏度、宽质量数范围，支持残余气体定性定量分析、工艺气体实时监测与污染溯源。

高精度泄漏检测系列

 HM-400 氦质谱检漏系列与 HC、HD、HL 气密检漏系列，可高效识别微小泄漏，全面覆盖真空镀膜、光电器件、光模块封装、精密光学元件的检测需求。

02展位导引

03现场互动

专家一对一问诊：资深技术专家驻场，针对您的产线痛点做现场剖析，从真空诊断到污染溯源，给出可落地的解决方案。

真机演示：现场可以实际体验HM系列RGA与检漏设备，直观感受设备性能。 

互动抽奖：到场参与即有机会赢取精美礼品。

提前预约有惊喜：扫码预约到访，现场可领取专属礼包一份。

诚邀行业同仁莅临

共研镀膜质控与良率提升

9月9到11日

深圳国际会展中心

7号馆7A03

海瑞思期待与您相遇

不见不散