在高端制造向“零缺陷”进阶的今天，微漏难捕、工艺气体成分不清、真空污染溯源滞后，依然是困扰液冷、新能源、半导体、真空镀膜、光伏、航空航天等先进制造的核心痛点。

海瑞思——HIRAYS，深耕密封检测近20年，依托完全自研质谱核心技术，打造覆盖质谱检漏系列与质谱分析系列的全系HM产品矩阵，为半导体、新能源、液冷、3C电子、真空镀膜及制冷等行业提供从定性定量检漏到工艺气体实时监测的一站式解决方案。

01 质谱检漏系列

电解液特征气体检漏

⬆ HM-210电解液检漏仪：适用动力电池、消费电池全产业链——电芯、模组、PACK 总成及移动电源成品等电解液微漏检测，在线式升级款，结构紧凑，支持产线全自动集成，超强抗干扰，适配高速量产。

常压电解液检漏

⬆ HM-310常压电解液检漏仪：创新采用常压循环进样+负压快检双模式，支持动力电池包不拆包检测，具备大漏拦截与多重防误判机制，满足售后排查与产线出货快速筛查需求。

冷媒 / 多气体检漏

⬆ HM-500多气体检漏仪：最小可检漏率低至0.05g/a，可精准检测R134a、R600a等多种冷媒及自定义特征气体，适用于空调、冰箱、商用制冷设备及汽车空调系统的冷媒泄漏测试。

以上三款均是基于四极杆质谱技术，直接检测电解液特征挥发组分（如DMC/EMC/DEC特征离子）及制冷剂分子，精准定性定量分析，从根源解决传统气密检测"微漏测不出、误判率高"的痛点。设备支持MES无缝对接与全链路数据追溯，灵活适配各类自动化产线，让质量检测既精准又高效。

超高灵敏度定位定量检微漏

⬆ HM-400氦质谱检漏仪：基于磁偏转质谱分析技术，以氦气为示踪气体，利用磁场中离子偏转半径的差异实现氦离子的高分辨率分离，结合专用信号处理算法，最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s。仪器支持吸枪法、喷氦法、真空箱法、累积法及背压法，正负压皆可检，优化设计的质谱系统与算法，响应快且抗干扰能力强。

广泛应用于液冷、新能源电池系统、航空航天部件、半导体设备及精密医疗器械的密封性检测与漏点定位。

02 质谱分析系列

HM-100/130/150 残余气体分析仪

——适用于半导体·真空镀膜·光伏·科研 

——腔体残余气体分析与工艺监测专用

HM-100残余气体分析仪：经典入门款RGA，以3×10⁻¹⁴ Torr的高灵敏度精准识别关键残余气体，为真空系统诊断筑牢根基。

HM-130高性能残余气体分析仪：2×10⁻¹⁵ Torr的超高灵敏度，2ms/点高速扫描，1–300amu全谱覆盖，是CVD/PVD/ALD/刻蚀等制程的"数字慧眼"。

HM-150高压力残余气体分析仪：针对PVD高压工况设计，突破性地支持最高2Pa工作压强，采用钇铱/钨双灯丝抗腐蚀设计，以毫秒级响应精准锁定高压环境下的痕量杂质，化身产线良率"防损尖兵"。

这三款设备是RGA（残余气体分析仪）的核心检测单元，作为气体成分分析的“传感器”，需与进样系统及分析软件配套使用。

产品线涵盖从基础型到高性能型的完整梯队，特别包含可适配高压强等严苛工况的型号，能够覆盖全场景应用需求。

可实时监测真空腔体内 H₂O、H₂、N₂、O₂、Ar、CO、CO₂等关键气体成分及分压变化，为工艺优化、污染溯源、腔体放气分析与异常诊断提供精准数据支撑。

HM-230多压力残余气体分析仪

——适配半导体从高真空到常压的全梯度压力制程

这款设备一体化集成RGA、真空系统与智能进样模块，覆盖1E⁻⁸ Torr ~ 1.2 atm全压力范围，适配范围更广，通过FC/EM双检测器协同，即接即测适配多制程压力场，是复杂工艺中不可或缺的“在线气体哨兵”。

HM-200在线质谱分析仪

——适用于研发试验、小批量验证 

可用于真空系统残余气体成分分析、工艺气体定性定量监测及污染溯源，满足验证及工艺研发需求。

RGA质谱分析系列共性优势

全系RGA支持API数据上传，助力数字化智能工厂建设

核心部件全自研，交期更短，本土技术团队极速响应

03 为什么选择海瑞思HM系列？

1头部客户共同选择

国家高新技术企业，18年专注密封检测领域，长期服务3C、新能源、液冷及汽车等行业头部客户，依托强大的持续迭代与规模化交付能力，为客户提供长期稳定的品质保障

2同源质谱全矩阵

检漏＋分析双线覆盖，解决高端制程多场景检测需求，一站式护航高端精密检测

3核心全自研

自有生产基地，核心技术完全自研，打破进口依赖，供应链安全可控，交期与售后更有保障

4数据深度互联

预留API数据接口，无缝对接MES系统，检测数据可追溯，利于工艺优化，筑牢良率防线 

5本地化服务

从产线评估、样机测试、工装定制到终身维保，全链路护航

让微漏无处遁形，让气体变化看得见。

如果您正面临——

1高端制造、先进制程密封检漏

2真空腔体残余气体分析与污染溯源

3工艺气体实时监控与良率提升

欢迎咨询获取定制化解决方案，海瑞思HM系列全家族，将始终为您的产品安全与良率护航！海瑞思RGA系列六月特惠已启动，私信【RGA试用】，预约免费试机，亲身体验高精度气体分析带来的工艺革新。