中国国际光电博览会（CIOE）是全球最具规模及影响力的光电产业综合性展会，第二十七届中国国际光电博览会（CIOE 2026）将于2026年9月9–11日在深圳国际会展中心（宝安）盛大启幕。

本届CIOE中国光博会规模达26万㎡，预计吸引超4000家来自全球30多个国家和地区的优质光电企业参展。同期八大主题展覆盖光电技术全产业链，包含信息通信、精密光学、摄像头技术及应用、激光及智能制造、红外、紫外、智能传感、新型显示、AR & VR、光电子创新等核心板块，集中呈现光电技术从核心材料、关键器件、先进制造到终端应用场景的全链条创新成果。

本次展会，海瑞思以 "一站式精密检测，护航真空镀膜工艺制程"为核心参展主题，携 HM 系列 RGA 残余气体分析仪及气密、氦检设备亮相7号馆7A03展位，诚邀真空镀膜、光电制造、半导体行业同仁、工艺及质量负责人莅临现场，共研镀膜工艺质控与良率提升新方案。

Part.1 核心产品

HM-130 高性能残余气体分析仪

专为高真空环境设计，性能对标国际一线水准；最小可检分压 2E-15 Torr，2 ms/点 高速扫描，1–300 amu宽质量数范围；在半导体工艺中可用于检漏、真空诊断、烃类分析等。

HM-150 高压力残余气体分析仪

最高工作压强 2 Pa，最低 2E-9 Pa 分压检测；涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝设计，3 ms/点响应；可应用于从高真空到 PVD 工艺的高灵敏度空气泄漏和污染检测。

HM-230 多压力残余气体分析仪

宽压 1E-8 Torr ~ 1.2 atm，一台覆盖全梯度压力场；RGA + 真空系统 + 进样模块一体集成；适合 ALD、CVD、PVD 和刻蚀等要求严苛的半导体工艺。

HM-200 在线质谱分析仪

高灵敏度，宽质量数范围；可用于真空系统残余气体定性定量分析、工艺气体实时监测及污染溯源，满足工艺验证与研发需求。

Part.2 全栈精密检测，从气体分析到泄漏检测

本次展会，海瑞思还将同步展出HM-400氦质谱检漏系列与HC、HD、HL气密检漏系列产品，可高效识别微小泄漏，全面覆盖真空镀膜、光电器件、光模块封装、精密光学元件精密检测需求。

Part.3 我们在这

Part.4 关于我们

海瑞思专注密封检测与质谱分析技术近二十年，构建覆盖气密检测、气体检测、质谱检漏、质谱分析的完整体系，服务3C电子、新能源、液冷、半导体、真空镀膜、光电通信等领域。服务全球5000+客户，核心部件自主化、本土团队极速响应，助力世界500强企业及头部代工厂攻克各类检测难题。

一站式精密检测

护航真空镀膜工艺制程

9月9–11日

 深圳国际会展中心7号馆7A03

海瑞思恭候莅临