海瑞思针对液冷歧管专门研发的双工位真空箱氦质谱检漏系统，通过双腔体设计与智能化控制，有效解决了大工件的高效高精度检测难题。

1检测难点

液冷歧管“大体积、多焊点、高精度”的特性，给常规检漏设备带来了巨大挑战：

高精度要求：液冷歧管通常由多段管材与接头焊接而成，焊缝众多。微小的泄漏点极易隐藏在复杂的流道中，常规的气密性检测无法满足精度要求。

高难度密封：工件接口多且结构复杂，在抽真空及充氦过程中，需要保证多个封堵点的有效密封，防止误判。

高效率诉求：工件体积庞大，若检测节拍跟不上产线速度，将成为产能瓶颈。

2 客户需求

基于上述难点，客户对设备提出了明确的定制化需求：

检测能力：检测漏率≤1.0×10⁻⁷Pa·m³/s，微漏检测压力1.2MPa（可调）。

生产节拍：双工位检测，每个真空箱可测1-2个工件，双箱联动节拍50S/箱(不包含上下料及微漏测试时间)。

成本管控：具备氦气回收功能。

数据管理：具备扫码追溯功能，便于质量管控。

3 海瑞思全流程真空箱氦检方案

针对上述需求，海瑞思量身打造了集HM-410氦质谱检漏仪、真空箱系统、充氦回收系统、清腔系统及PLC与上位机电控系统于一体的全流程解决方案。

⬆ HM-410氦质谱检漏仪

01硬件架构：专为“大尺寸”定制

方案在硬件设计上充分考虑了大工件的特殊性：

超大真空箱设计：采用3000×400×500mm大容积真空箱，约600L，满足工件尺寸需求。箱门创新采用上下开门形式，有效节省侧向空间，适应紧凑的车间布局。

双腔体联动布局：配置两个独立真空箱，支持双箱联动测试，也可单箱独立工作，灵活应对不同产能需求。

高效上下料机制：采用手动上下料+滑台自动进出模式。工件由人工放置于滑台工装，滑台自动送入真空箱，既保证了定位精度，又降低了自动化改造成本。

自研双层柔性管路：真空箱内创新应用自研双层管设计，既保证了管路柔性连接，便于操作，又能有效阻隔氦气残留，降低真空箱氦气本底值，提升检测精度。

特殊密封技术：针对大工件多接口的封堵难点，采用特殊设计的密封接头，有效解决氦检密封可靠性问题，从源头减少误判。

02 检测流程：分级筛查，精准锁定

系统采用“大漏筛查+本底抑零+微漏精检”的三级检测逻辑：

充氮检大漏（预筛）：正式检漏前，先充氮气保压。若工件出现压降超标、充压超时或真空箱抽真空超时等异常情况，系统立即终止程序并报警。此举可快速剔除明显不良品，避免氦气浪费。

氦本底抑零：充氦前自动进行本底检测。若检测到环境氦气残留或上次测试遗留氦气，系统自动启动氮气清扫，确保基准为零，保证微漏检测的准确性。

氦质谱精检：充入氦气后，氦质谱检漏仪实时监控真空箱内氦浓度。一旦信号超标，界面即刻提示“微漏”；若无超标信号，则判定“OK”。

03 智能管控：数智赋能，精益降本

氦气回收：实现95%以上的氦气回收率，大幅降低长期耗材成本。系统实时监控氦气浓度与压力，自动补充氦气，确保测试条件恒定。

自动清腔：检测到工件泄漏时，真空箱自动充氮气清扫。

数字化管理：集成扫码功能，可记录并保存产品测试数据，满足智能制造的数据追溯要求。

⬆ 海瑞思氦气充注回收系统

4 客户价值 

该方案的落地，为客户带来了显著的效益提升：

产能飞跃：双腔体并行作业，配合优化的流程控制，实现快节拍检测，完全匹配产线速度。 

成本优化：95%的氦气回收率，结合模块化设计带来的便捷维护，显著降低了综合使用成本。

品质保障：≤1.0×10⁻⁷Pa·m³/s的高精度检测能力配合可靠的密封技术，确保产品零泄漏隐患，大幅降低售后风险。

管理升级：全流程数据自动采集与追溯，助力客户构建数字化质量管理体系。

结语

在液冷领域，密封检测是守护产品生命线的关键一公里。海瑞思凭借成熟的氦检技术与丰富的落地经验，已成功攻克大工件检测难、多焊缝易误判、快节拍难兼顾等行业顽疾，切实助力企业提升良率、压缩成本、提升产能。 

如果您也正面临液冷零部件或其他大型结构件的高精度密封检测难题，欢迎随时联系海瑞思，获取专属定制方案！