仪器概述
HM-400氦质谱检测仪是一款高灵敏度全自动氦质谱检漏仪器，它由质谱仪、分子泵、机械泵、阀体、控制及驱动模块组成，可适用于正负压检漏场合，也可以和专用机台共用形成自动化检漏系统。
性能规格
该技术具有三大显著优势：检测灵敏度更高、响应速度更快、适用范围更广。
支持正压检漏，负压检漏
自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底
机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用
应用场景
应用行业：半导体、新能源、医疗、航空航天、能源化工等行业。科研院所、航空航天、动力锂电池、阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。
名称 | 氦质谱检测仪 |
规格型号 | HM-400 |
尺寸 | 845mm*465mm*988mm |
电压及功耗 | 220V,50Hz |
重量 | 80KG |
工作压力 | 40Pa~1500Pa |
显示 | 触摸彩屏 |
性能指标 | |
最小可见漏率（负压模式） | 5E-13Pa*m³/s |
最小可见漏率（吸枪模式） | 1E-8Pa*m³/s |
漏率显示范围 | 1E-3~1E-13Pa*m³/s |
进气口压力 | 粗检：1500Pa |
中检：200Pa | |
精检：40Pa | |
启动时间 | ≤3min |
响应时间 | ≤1s |
粗抽泵抽速 | 16m³/h(4.4L/s) |
海瑞思公众号
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