9月10日,为期三天的SEMI-e第七届深圳国际半导体展于深圳国际会展中心盛大启幕。海瑞思携多款专业密封检测解决方案亮相14号馆K11展位,并凭借创新的技术应用与成熟的解决方案,成为备受瞩目的焦点。

首日盛况:技术引领,人气汇聚
开展首日,海瑞思展台便迎来大量专业观众驻足,交流气氛热烈。此次参展以“一站式密封检测,筑牢半导体密封防线”为主题,集中展示了包括RGA残余气体分析系统、氦质谱检漏系统等多款自研核心产品,覆盖半导体行业芯片封装等的微漏检测,以及半导体制作过程中的工艺气体实时监测和分析,为提升芯片良率与产品可靠性提供关键技术保障。

海瑞思资深工程师团队全天候驻守展位,围绕行业常见痛点——如“微漏难定位”“良率波动”“气体浓度失控”等,与现场客户开展多轮一对一技术交流与案例剖析,带来诸多切实可行的解决方案。

众多客户对海瑞思RGA系统、氦检设备、氢氮检漏仪表现出浓厚兴趣,现场亲身体验了设备的操作,并围绕其核心性能、应用场景及定制化解决方案,与工程师进行了深度对接与探讨。更有客户在充分沟通后,现场即达成合作意向,展现出对海瑞思技术与服务的高度认可。

产品与技术亮点

01 HM-100 残余气体分析仪↑
高分辨率:<1amu
高灵敏度:最小可检分压3*10-14 Torr
宽质量数范围:1-100amu,可识别H2、He、H2O、N2、O2、CO2等关键气体。

02 HM-200在线质谱分析仪↑
采用RGA技术直接检测电解液泄漏,无需检测气体,灵敏度高,成本更低; 自带触摸显示屏,操控精准。

03 HM-400氦质谱检漏仪↑
最小可检漏率 5*10-13Pa·m3/s; 正压负压皆可检,全面覆盖需求; 推车式结构轻便高效,适用各类生产环境; 模块化紧凑设计,易于系统集成,适用于各种自动化装配线。

04 HV-100 VOCs检测仪↑
检测精度1ppb,秒级响应;支持多种测试气体和应用场景;小巧便捷,轻松操作;自动储存,支持数据溯源。
一站式方案
海瑞思不仅提供专业的检测仪器、定制化测试平台、治具,更为客户提供工艺分析、测试方案定制与售后支持的全流程服务,真正帮助客户系统性地解决检测难题,助力质量和效能全面提升。
明天继续,邀您共商合作
展会仍将继续,海瑞思在14号馆K11展位等您!欢迎半导体行业伙伴莅临展台:
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展位:深圳国际会展中心(宝安)14号馆K11
时间:2025年9月10-12日
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