在精密制造与高端装备领域，密封性能是保障产品可靠性与安全性的关键。以半导体真空设备为例，真空度的任何波动和杂质污染都会直接影响工艺稳定性，导致制程良率下降。而航天、电力、液冷等大型设备结构复杂，任何微小的泄漏，不仅会增加系统运行成本，更可能带来安全隐患、损害品牌声誉。

基于质谱技术的氦质谱检漏仪与残余气体分析仪（RGA），凭借其高灵敏度、高精度和多功能性，已成为精密检漏与工艺监测的核心方案。

本文将结合海瑞思的氦质谱系列和四极杆质谱系列产品，系统解析两种技术的原理、差异及应用，为工业检测提供参考。

1技术核心：同源质谱，不同使命

气体电离 → 按质荷比（m/z）分离 → 离子检测 → 信号分析 

但两者的设计目标不同，因此形成不同的应用价值。

氦质谱原理

离子源将气体中的物质电离为正离子，在离子源加速电压的推动下进入磁偏转质量分析器。在固定的磁场强度下不同质量的气体离子对应的偏转半径不一样，氦离子质量合适可以通过磁场中间的挡板夹缝打入法拉第杯而被检测到，其他较轻或较重的离子则无法通过夹缝被检测。

四极杆质谱原理

离子源将气体中的物质电离为正离子，在离子源加速电压的推动下进入四极杆质量分析器。 

四极杆中两对杆分别施加不同的交流和直流电压形成四极场，通过控制电压使得某一时刻只允许一种质量数的离子经过四极杆，最终进入检测器被检测。 

检测到的信号强度，就对应这种离子的多少，进而推算出含有这种离子的物质的多少。

2 一张表读懂氦质谱与RGA技术区别

3 实战应用：赋能多行业精准检测

海瑞思氦质谱系列和RGA系列，是微漏检测及气体分析的代表性解决方案，可实现从诊断、定位、验证到监控的全流程闭环，可精准匹配半导体、航空航天、电力系统、液冷等领域应用。

应用一 

精密检漏：保障产品安全与性能的基石

在半导体、液冷、核电、航空航天、汽车、医疗等高端精密制造领域，压铸件、腔体、阀门及管路等部件的微小泄漏都可能影响设备性能与运行安全。 

HM-400/410氦质谱检漏仪，由海瑞思自主研发，技术先进，性能稳定，安装维护方便，可实现高灵敏度、高重复性的密封性检测与漏点定位。

⬆ HM-400氦质谱检漏仪

核心优势

性能优越：灵敏度高、响应快，支持7*24小时长时间在线测试，具备多种检漏模式，应用范围广，适配复杂工况。 

智能高效：优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。 

方案全面：提供从方案设计、设备集成到现场调试的一站式服务，支持非标定制，简便易用。 

提质增效：可显著提升检测精度与稳定性，帮助企业降低质量风险与综合成本。

⬆压铸机氦检方案（真空箱法）

⬆液冷组件氦检系统

应用二 

残余气体分析：工艺优化与失效诊断的关键

在半导体真空镀膜、晶圆制造等工艺中，残余气体会直接影响薄膜的厚度、均匀性和缺陷率。 

通过海瑞思完全自研的HM-100 / HM-130 / HM-150 残余气体分析仪，可实时监测腔体内的 H₂O、H₂、N₂、O₂、Ar 等关键气体成分及其分压变化，为工艺优化和异常诊断提供数据支撑。

⬆HM-100残余气体分析仪

核心优势

极致灵敏：最小可检分压达3*10-14Torr，有效确保真空系统的洁净度。

自主可控：核心部件100%自研，性能媲美进口，交货周期更短。

高效维护：离子源、电子倍增器等关键耗材更换便捷，有效降低停机与维护成本。 

定制开发：软件功能可按需定制，无缝对接MES等生产系统，帮助客户提升产品良率与一致性。

结语

从精准检漏到系统健康管理

在工业制造向高端化、精密化升级的趋势下，单纯的定性检漏已无法满足需求，“定量检漏+系统诊断”的双重能力，为企业提供从“被动检漏”到“主动管控”的升级路径。 

未来，随着智能制造的深入发展，氦质谱与RGA系统将成为高端制造领域密封检测和气体分析的标配，而海瑞思也将持续以技术创新，为各行业提供更精准、高效的检测解决方案。