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特种气体-应用案例
2025.11.06
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某知名晶圆厂在12英寸产线运行中遭遇工艺气体浓度异常问题。通过引入海瑞思专业检测方案,在气体分配系统的VCR接头处发现纳米级泄漏。问题解决后,产品良率提升2.3%,每年节约特种气体成本超过800万元,并显著提升了工艺稳定性。


我们凭借在半导体特种气体密封检测领域的深厚技术积累,已为多个先进晶圆厂提供专业解决方案。欢迎与我们联系,获取针对您产线的定制化检测方案。

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